作者：刘正,严英占,刘俊,闫树斌 单位：天津市工业自动化仪表研究所;天津市自动化学会 出版：《自动化与仪表》2011年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHY2011020020 DOC编号：DOCZDHY2011020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器，通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上。光学微腔是一种新型的光学谐振腔，当其在回音廊模式下(WGM)共振时可以检测到规则的透射谱图，该传感器通过测量透射谱的偏移来确定位移量。利用有限元分析法可以得到悬臂梁结构的最佳尺寸参数，利用时域有限差分方法(FDTD)可以得到环形腔投射谱的偏移特性。当使用跑道型谐振腔时，该新型传感器最高可以探测到10nm左右的位移量。

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