《微机械气流式倾角传感器的研究》PDF+DOC
作者:朴林华,崔雪梅,余全刚,王星,梅传志,张保丽
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2011年第12期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2011120190
DOC编号:DOCCGQJ2011120199
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提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽,在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂梁,用半圆球外壳封装成一个密闭腔体形成敏感元件;通过惠斯登电桥提取倾角电压信号;利用单片机和温度传感器构成补偿电路,实现温度补偿和线性度补偿。测试结果表明:测量范围为±;30°;,分辨率为优于0.1°;,响应时间优于50 ms,非线性度优于0.1%。该传感器不仅体积小,而且结构紧凑,工艺简单,敏感元件输出一致性好,适于批量生产。
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