作者：高忠华,陈锡侯,彭东林 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2015年第01期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2015010130 DOC编号：DOCGXJM2015010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为解决时栅角位移传感器在实际应用中的在线标定问题，提出了一种定角平移自标定方法并设计了相应的自标定系统。该方法首先把圆周封闭的自然基准转换成定角基准，在时栅内部建立了自标定基准。然后，根据傅里叶级数的性质，将定角基准平移到傅里叶变换的幅值和相位中，建立了测量值之差与误差之差的函数关系。通过对测量值之差进行傅里叶分析，重构了时栅角位移传感器的误差函数。最后，讨论了影响自标定精度的误差来源，并设计了传感器的零点纠错算法。为了检验自标定效果，利用激光干涉仪实验装置与自标定系统进行了对比试验。结果表明：定角平移自标定精度为1.9″，与理论计算的自标定误差(1.5&#177；0.5)″的结论相符。提出的自标定方法在解决时栅自身标定基准的同时，满足了精密测量领域对时栅精度和可靠性的要求。

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