作者：孙迎伟,胡木林,周志刚 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011060050 DOC编号：DOCCGJS2011060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用丝网印刷技术，制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器，测试对甲醇和乙醇的气敏性能，并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃时，SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度，而在工作温度为200～350℃时，SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外，SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后，讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。

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