《微压力传感器接口电路设计》PDF+DOC

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5. 《小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计》PDF+DOC 为了提高小量程微压力传感器的灵敏度，提出了一种新结构模型，通过理论分析，发现硅膜越薄，量程越小，灵敏度越高。并对此模型进行ANSYS应力仿真，发现在小量程负荷条件下，新结构模型应力峰值约为10.7 MPa，C型硅杯应力峰值为2.25 MPa，E型硅杯应力峰值为2.8 MPa，通过比较可以看出，优化后......
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7. 《压阻式微压力传感器结构参数设计》PDF+DOC 在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上，根据传感器的灵敏度与线性度特点，设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下，对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真；并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明，该设计方法对微压力传感器的研制具有一......
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