作者：赵锐,石云波,唐军,刘俊 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011080080 DOC编号：DOCCGJS2011080089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究》PDF+DOC2011年第07期 石云波,李平,朱正强,刘俊,张晓明 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧 《灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究》PDF+DOC2015年第04期 李策,石云波,刘欣 《高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究》PDF+DOC2015年第04期 李建义,朱杰,王静 《MEMS传感器在动态测试中的应用》PDF+DOC1998年第03期 翟成瑞,张文栋,周勇军,张斌珍,梁天波 《MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究》PDF+DOC2011年第09期 郭涛,徐雁,李平 《MEMS低量程微加速度计的设计》PDF+DOC2011年第03期 郭涛,林大为,向婷 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC2010年第02期 郝永平,卢继奎,杨芳 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧 《SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现》PDF+DOC2013年第07期 许高斌,陈兴,马渊明,卢翌,汪祖民

    • 针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求，设计了一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器结构双端固支梁-质量块结构，可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰，提高了测量精度。仿真分析表明传感器在敏感轴轴向灵敏度为1.41μV/gn，可实现对150 000 gn的加速度载荷的测量。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究》PDF+DOC 设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差，将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响，及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计，提出了一种新颖的优化高g加速度传感器抗高过载能力的方法。该方法是在结构最易断裂的梁根部和端部添加倒角，以分散在冲击作用下传感器结构......
    2. 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作，因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感......
    3. 《灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究》PDF+DOC 针对恶劣环境下高频信号的干扰与由封装引起的结构失效，设计了一种MEMS高g加速度传感器，通过灌封实现机械滤波，保证封装的可靠性。根据传感器封装工艺，利用ANSYS软件建立有限元模型，仿真分析了灌封技术对传感器结构和性能。结果表明：灌封技术可提高传感器的高过载能力和输出灵敏度，灌封弹性模量相对较大、密......
    4. 《高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究》PDF+DOC 针对高量程压阻式加速度传感器在高温环境下的失效问题，分析了高温对高量程加速度计的影响，得出的失效模式为：高温导致固支梁的翘曲或变形；温度变化引起压敏电阻的变化进而导致传感器输出漂移甚至输出失效；测量电路板在高温下变得扭曲或者导电层的分离。然后，利用ANSYS对固支梁和电路板进行仿真，得出各模块在20......
    5. 《MEMS传感器在动态测试中的应用》PDF+DOC 本文在简单介绍 MEMS 传感器的基础上，重点介绍了有 MEMS 传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。...
    6. 《MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究》PDF+DOC 针对设计的高g加速度传感器，建立封装有限元模型，并利用ANSYS软件仿真分析了贴片热应力及贴片技术对高g加速度传感器性能的影响。分析结果表明，贴片胶的热膨胀系数、弹性模量和厚度是影响热应力的主要因素，同时贴片胶的弹性模量、厚度及贴片胶的量将影响到传感器的输出灵敏度。...
    7. 《MEMS低量程微加速度计的设计》PDF+DOC 在传统双边四梁微加速度计结构的基础上，设计了一种新型MEMS低量程微加速度计，量程为&#177；10 g。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型，进行应力、模态及抗冲击能力分析。加速度计供电电压为5 V时，灵敏度理论值达到1.029 mV/g，与传统结构相比，极大地提高了低量程微......
    8. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    9. 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC 随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展，各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺，并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试，测试结果表明实验与理论设计值相符。...
    10. 《SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现》PDF+DOC 基于SOI技术，利用电感耦合等离子体硅深加工，设计制备了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元，采用扇形敏感质量块平板内振动结构。对称的布局方式，有效地消除了灵敏度的交叉干扰，提高了传感器的测量精度。测试系统分析出加速度传感器的灵敏度是1.170μV/g。研究表明该......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。