作者:王伟,栾剑,史鑫,陈信琦 单位:中国电子科学研究院 出版:《中国电子科学研究院学报》2011年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFKJPL2011030240 DOC编号:DOCKJPL2011030249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种基于感声波纹结构的光学式声传感器》PDF+DOC2014年第09期 于洪峰,王伟,王世宁,史鑫,曹永海,桂永雷 《基于数字式MEMS传感器的声阵列成像系统设计》PDF+DOC2015年第05期 陈林松,曹跃云,郭文勇,张磊,刘树勇 《新一代麦克风(声传感器)的发展》PDF+DOC1996年第03期 白韶红 《强噪声中的声检测研究》PDF+DOC1994年第04期 何遵文,李在庭 《一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器》PDF+DOC2004年第01期 杨宏亮,鲍剑斌,王志勇,贺德建 《光纤声传感器的实验系统研究》PDF+DOC2009年第06期 李瑞,肖文,姚东,许秉时 《硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究》PDF+DOC2008年第05期 陈尚,薛晨阳,张斌珍,张国军,乔慧,张开锐 《汽车轮胎压力传感器芯片与应用》PDF+DOC2008年第02期 郭源生,郭宏 《基于震动和声传感器的战场侦察系统构想》PDF+DOC2007年第23期 金勇杰,傅历光,焦长兵 《基于自动增益控制的声信号处理电路》PDF+DOC2007年第12期 王永龙,杨卫,石云波,张文栋
  • 介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。

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