作者：李宗兴,陈德勇,王军波 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第08期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011080060 DOC编号：DOCCGJS2011080069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种MEMS应变式结冰传感器。传感器基于结冰造成薄膜刚度改变的原理，采用惠斯通电桥结构检测结冰薄膜上应变电阻的变化，感知结冰信号。传感器利用惠斯通电桥自身结构及外加温度补偿电路，可有效地抑制输出信号的温漂。通过理论分析和有限元仿真，分析了器件的敏感机理，并对结构参数进行计算。采用与IC工艺兼容的体硅MEMS工艺完成传感器的加工。实验结果表明，传感器检测结冰厚度的灵敏度优于0.1 mm。

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