作者：马炳和,傅博,李建强,邓进军,董拴成 单位：中国航空学会;北京航空航天大学 出版：《航空学报》2011年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKXB2011110220 DOC编号：DOCHKXB2011110229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量，提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构，并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底，在衬底上溅射沉积金属镍膜，并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜，再剥离成型铜引线。通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜，使得引线电阻远小于热敏元件阻值，有利于减小引线的热敏干扰。经热敏性能测试，其电阻温度系数达到3.6&#215；10-3/℃以上，线性度优于0.7%，并且热敏响应速度极快；结合风洞试验验证了该传感器测量壁面剪应力的有效性，并且获得了较好的测量重复性。该传感器阵列结构简单，工艺成本和复杂度较低，提高了用于非平面应用时柔性热膜元件与引线间的连接可靠性，为高曲率表面的非破坏性动态流场参数测量提供了新手段。

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