作者：余柏林,王瑞春,龚汉东,余法红 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011050110 DOC编号：DOCCGJS2011050119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了环境温度对集成微沟道热式空气流量传感器的影响，并提出了相应的环境温度补偿方案，能显著减小测试误差。这种传感器的测试原理是通过加热电阻的上下游温度差来反映空气流速，不同的环境温度，该上下游温度差也不同，从而导致测试结果出现偏差。随着环境温度的增加，上下游温差变小，输出电压也减小，但可测试范围增加。同时，文中提出的一种环境温度补偿方案是在芯片上游放置环境温度测试电阻，将环境温度转化为电阻信号，以作为环境温度补偿依据，最终使得加热电阻与环境温度的温差保持恒定，这样就减小了环境温度的变化带来的测试误差。当流速为2.5 m/s，环境温度分别为0℃、27℃和50℃时，补偿前传感器的输出电压信号分别为4.5 V、3.6 V和2.4 V，补偿后传感器的输出电压信号分别为3.62 V、3.68 V和3.75 V。

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