作者：尹亮,刘晓为,陈伟平,周治平 单位：哈尔滨工业大学 出版：《哈尔滨工业大学学报》2011年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHEBX2011110030 DOC编号：DOCHEBX2011110039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题，提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频，有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离，同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0.01%，片上集成跨阻放大器可实现1 aF/sqrt(Hz)电容变化测量.闭环驱动电路采用18 V高压N阱CMOS工艺设计，芯片面积18.9 mm2.在&#177；9 V电源条件下，角速率传感器输出刻度因子10 mV.((&#176；).s-1)-1，线性度0.3%，偏置稳定性190((&#176；)/h).测试结果表明，该方法在机械表头常压封装下(品质因子为80)，无需后续电路相位调整，即能有效的实现传感器的闭环自激驱动。

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