作者：佟玲,邹文江,刘潇潇 单位：中国电子学会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFELEW2011010090 DOC编号：DOCELEW2011010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微系统及其商品化》PDF+DOC2000年第03期 章维一,侯丽雅 《微系统技术》PDF+DOC 封松林,王渭源 ,王跃林 ,祝向荣 《微机电系统(MEMS)研究现状及展望》PDF+DOC2002年第07期 张贵钦 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC2007年第03期 侯亚丽,李长河,蔡光起 《国产MEMS器件性能突破》PDF+DOC2014年第06期 赵娟 《1997-2017年全球MEMS传感器专利分析》PDF+DOC2018年第02期 马梅彦 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究》PDF+DOC2006年第08期 王娟,徐淑静,徐爱东 《微机电系统性能检测的分析与研究》PDF+DOC2004年第02期 鲍雅萍 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC2006年第08期 毋正伟,陈德勇,杨苗苗,徐磊

    • 前言微机电系统(microelectro-mechanicalsystems，Mems)是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点。微系统技术(MST)是一个更广泛的概念，它除了包括微机电系统外，还包括微流体系统、微光学系统、生物芯片技术

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