《硅压力传感器的可靠性强化试验》PDF+DOC
作者:于丽娜,秦丽,张会新
单位:天华化工机械及自动化研究设计院
出版:《化工自动化及仪表》2011年第07期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHGZD2011070460
DOC编号:DOCHGZD2011070469
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对硅压力传感器进行可靠性强化试验,并分析压阻式压力传感器的失效模式和失效机理。
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