作者：宋国庆,林金秋,张莉新,邹向光 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2011年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2011030050 DOC编号：DOCCGSJ2011030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高灵敏度硅电容式压力传感器的研制》PDF+DOC1989年第06期 陈志刚 《基于SOI岛膜结构的高温压力传感器》PDF+DOC2018年第09期 杨娇燕,梁庭,李鑫,李旺旺,林立娜,李奇思,赵丹,雷程,熊继军 《圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC1997年第04期 吕惠民,田敬民 《陶瓷质电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 李士忠,石汝军,王成礼,翟鹏 《电容薄膜规使用中应注意的几个问题》PDF+DOC1989年第03期 李正海 《国外电容式集成压力传感器简介》PDF+DOC1983年第04期 徐清发 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC2003年第01期 沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品 《基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究》PDF+DOC2008年第12期 刘元浩,赵立波,赵玉龙,蒋庄德,田边,孟超 《新型接触式电容压力传感器》PDF+DOC2008年第03期 郭强,吕浩杰,胡国清 《浮动电极式三维柔性电容触觉传感阵列设计》PDF+DOC2015年第05期 余建平,张玉良,周兆忠

    • 介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片，并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率)，提高线性度，改善灵敏度的一致性，但是它以降低传感器的灵敏度为代价的；第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽，并且在该下凹区内不制作金属电极，能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度，换取较大的线性度提高和灵敏度一致性的改善。

    📙 相关资料

    1. 《高灵敏度硅电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 本文分析了圆形和方形硅杯的应力膜片在均匀压力下的弯曲，进而得到了电容式传感器的电容与压力的关系，指出当电极的半径与硅应力膜片的半径之比为0.6时，可以得到最高灵敏度。对非线性的改进，提出了通过改变电极的形状来实现，对器件的结构进行了设计。 文中介绍了硅电容式压力传感器的制作工艺，特别详细地研究了硅、......
    2. 《基于SOI岛膜结构的高温压力传感器》PDF+DOC 针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题，采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布，使压敏电阻能够完全布置在应力集中区，从而提高传感器的灵敏度和线性度。使用有限元分析软件对岛膜结构进行力学性能分析，根据敏感膜片表面应力分布情况确定压敏电阻最优的位......
    3. 《圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC 对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算，列举大量数据，指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径。...
    4. 《陶瓷质电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 本试验采用增韧陶瓷试制成功了一种陶瓷质的电容式压力传感器，由于采用干式设计（无填充液），及厚膜电路ＳＭＴ技术和ＰＦＭ信号传输技术，其外型尺寸、灵敏度、稳定性、抗干扰能力等均大幅度改善，特别是其耐腐蚀、易安装，因此具有极大的推广应用价值。...
    5. 《电容薄膜规使用中应注意的几个问题》PDF+DOC 本文重点介绍了如何正确使用电容薄膜规才能延长电容薄膜规的使用寿命，保证读 数精度。同时对安装时应注意的问题以及电容薄膜规的工作环境、连接电缆、维修等方 面都作了介绍。...
    6. 《国外电容式集成压力传感器简介》PDF+DOC 本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级，更重要的是降低了温度灵敏度，减少了温度漂移。...
    7. 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC 分析了硅压力传感器的线性与非线性 ，讨论了非线性产生的原因 ，并提出了硅压力传感器的优化设计方法...
    8. 《基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究》PDF+DOC 针对隔离型压力传感器封装的特点，介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究，对波纹膜片的结构进行优化，改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。...
    9. 《新型接触式电容压力传感器》PDF+DOC 与其他类型压敏器件相比，接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点，例如较好的线性，高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能，设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS)，这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。与现有的接触式电容压力传感器相比，这种结构可以......
    10. 《浮动电极式三维柔性电容触觉传感阵列设计》PDF+DOC 提出了一种能够同时实现z-向压力与x-y向剪切力测量的新型三维柔性电容触觉传感阵列，采用浮动电极式的传感阵列结构设计，分别制作了基于FPCB的感应电极层和基于PDMS的浮动电极层，将脆弱的接口电路加工在底部的感应电极层上，大幅提高传感阵列的挠曲刚度。所设计的柔性电容触觉传感阵列在x-y和z-方向上的......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。