作者：李正刚,苗圃,李锋,吴一辉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2011年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2011090450 DOC编号：DOCCGQJ2011090459 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了制作出具有高灵敏度的Love波传感器，分析了Love波在ST石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性，并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。从该结构的声学动力学方程出发，分析求解了该分层结构的波动方程，并得到了在该分层结构的色散关系式和结构中的位移表达式。然后在所得到的解析表达式的基础上进行了相应的波结构分析和特性曲线的绘制，并得到了Love波在该结构中的传播特性。最后应用MEMS工艺制作了由ST石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器，并通过电化学微电铸的方法进行了实验验证，对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析。测试数据表明：该传感器的质量灵敏度为100 cm2/g，最低检出限为3.65 ng。实验结果基本满足Love波传感器进行高灵敏度生化检测的要求。

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