作者：王巍,王晓磊,代作海,唐政维,李银国,徐洋,白晨旭 单位：重庆邮电大学 出版：《重庆邮电大学学报(自然科学版)》2011年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCASH2011040120 DOC编号：DOCCASH2011040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理，重点分析了掺铁对氧敏特性的影响。设计出了基于TiO2薄膜结构氧气传感器，通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试。实验结果表明，该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应，且具有低电阻的特性。

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