《柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究》PDF+DOC
作者:傅博,马炳和,邓进军,董拴成
单位:北京航空精密机械研究所
出版:《航空精密制造技术》2011年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHJZJ2011040000
DOC编号:DOCHJZJ2011040009
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分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复杂表面,实现非破坏动态流场参数测量。
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