《多用途、模块化哈特曼波前传感器的研制》PDF+DOC
作者:李宏壮,刘欣悦,王志臣,王建立
单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司
出版:《光学技术》2011年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJS2011030240
DOC编号:DOCGXJS2011030249
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分析了哈特曼传感器的主要设计指标,介绍了设计研制的一种多用途、模块化哈特曼传感器,通过将传感器的主要部件,包括光源、准直镜、分光棱镜、缩束光路、微透镜阵列及相机等进行模块化设计,根据不同需求,对各模块增减或更换,实现了一套传感器多种用途的应用。并用该传感器进行了系统波像差及光学元件面形检测实验,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出该传感器测量精度λ/50 RMS。
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