作者：倪敏,冉曾令,鲁恩,饶云江 单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《激光与光电子学进展》2011年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGDJ2011120100 DOC编号：DOCJGDJ2011120109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高微光纤压力传感器的制作效率，采用157nm激光加工的自封闭式法布里-珀罗腔，形成在线式全光纤压力传感器，包括微腔和一截短的单模光纤。跟踪压力传感器相位的变化可以获得压力大小。在0～60MPa的测量范围内，灵敏度达到0.01rad/MPa，长期稳定性达到&#177；0.04MPa。所做的10个传感器样品，在60 MPa的测量范围内，灵敏度的冗余度达到&#177；5%，可以规模化制造。这种传感器有望在航空航天、汽车工业和井下监测等领域发挥作用。

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