作者:张广庆,赵成龙,秦明 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2011年第09期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2011090060 DOC编号:DOCCGJS2011090069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《片上加热电容式湿度传感器研究》PDF+DOC2015年第03期 陈文浩,黄见秋 《基于MEMS技术新型湿度传感器的研制》PDF+DOC2013年第09期 吴大军,唐祺,杨姗姗,温殿忠 《基于纳米森林的电容式湿度传感器》PDF+DOC2020年第06期 陈贵东,石梦,毛海央,熊继军,陈大鹏 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC1999年第04期 吴正元,陈涛,陈萍丽 《带微机的湿度仪》PDF+DOC1993年第02期 纪宗南 《基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器》PDF+DOC2004年第S2期 武宇,赵湛,方震,张博军 《气象微系统中传感器的温度补偿》PDF+DOC2003年第03期 周再发,黄庆安,秦明,张中平 《MEMS湿度传感器信号采集与数字化处理研究》PDF+DOC2008年第11期 王康,秦明 《自动气象站常见故障的判断和维修》PDF+DOC2013年第08期 田静,柴德美 《基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计》PDF+DOC2013年第08期 孙永明,刘武,张卫平,陈宏海
  • 利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响,结果显示:聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm,采用阶梯升温加热法,并以250℃作为最高固化温度时,测量结果表明该湿度传感器具有优异的敏感性能。

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