《MEMS磁场传感器的设计及测试》PDF+DOC
作者:陈洁,秦明,黄庆安
单位:东南大学
出版:《东南大学学报(自然科学版)》2011年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDNDX2011050080
DOC编号:DOCDNDX2011050089
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,Robert W.Schneider
,本刊编辑部
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以U型梁为主要结构设计了一种新型的洛伦兹力驱动的磁场传感器,检测在磁场中作切割磁力线运动的金属线上的感生电压,实现磁场测量.首先介绍了传感器的工作原理,并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析,接着用有限元软件建立结构模型并对其振动模态和频率进行了仿真.该MEMS磁场传感器采用标准的CMOS工艺加上后处理来实现.最后用多普勒仪对传感器的频率和振动幅度进行测试,并对传感器的感生电动势与磁场、电流的关系进行了测试.实验结果与理论分析一致,该传感器的灵敏度为14 mV/mT.该传感器结构简单,测试方便,可用于对mT级的磁场进行测试。
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