作者：王秀东,李红浪,付琛,梁勇,何世堂 单位：中国科学院声学研究所 出版：《应用声学》2011年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYSN2011030110 DOC编号：DOCYYSN2011030119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文主要研究了基于SnO_2/CuO薄膜的声表面波(SAW)传感器(室温下，工作频率约为147.8 MHz)检测H_2S气体的特性。以36&#176；YXLiTaO_3为基片制作声表面波器件，通过采用射频磁控溅射法在其表面淀积SnO_2/CuO的复合薄膜制作出H_2S气体传感器。由场发射电子扫描电镜观察薄膜，薄膜连续均匀且表面分布大量微气孔，因而具有良好的吸附性。然后本文在85℃～205℃范围内对传感器的吸附和脱附速率、灵敏度及选择性等进行了实验研究。实验结果表明，所制备的传感器在较低温度下同时具备快速吸附和脱附特性，工作在190℃时气体吸附和脱附速率最快，检测20ppm H_2S的响应和恢复时间分别为30s、15s；工作在160℃时，传感器检测20ppmH_2S的灵敏度最高，工作频率变化约230 kHz，且对于低浓度2 ppm H_2S，频率变化可达45 kHz。同时，传感器也表现出良好的重复性和选择性。

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