作者：陈泓波,黄向东,刘立丰,朱加兴 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011120050 DOC编号：DOCYBJS2011120059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种单极板调频式电容位移传感器，可实现非接触微位移测量。其原理为通过双路差频方法得到位移-频率的调制信号，再由乘法器鉴频得到位移变化量。电路包括测头及LC振荡电路、本振电路、混频下变频电路和鉴频电路。实验表明该传感器分辨力达到5 nm，并具有较好的线性度。

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