作者:张贺,石云波,唐军,赵锐,刘俊 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2011年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2011100110 DOC编号:DOCCGJS2011100119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析》PDF+DOC2012年第04期 唐军,赵锐,石云波,刘俊 《一种压阻式高g值加速度计的校准方法》PDF+DOC2014年第05期 郑宇,方岚,谢斌,徐栋,展明浩 《Hopkinson杆校准系统中高g值激励加速度脉冲的产生与调整》PDF+DOC2015年第06期 范锦彪,徐鹏,祖静 《解决侵彻信号连粘的新型传感技术》PDF+DOC2018年第11期 黄用,崔敏 《Hopkinson压杆技术的推广应用》PDF+DOC2006年第05期 李玉龙,郭伟国,徐绯,索涛 《高g值加速度传感器动态校准的研究》PDF+DOC2011年第12期 于景玲,范锦彪 《基于Hopkinson杆的高g值加速度计的标定》PDF+DOC2011年第15期 董力科,代月松,陈昌鑫,孙正席 《高g值加速度计的设计与冲击特性分析》PDF+DOC2010年第03期 石云波,朱政强,刘晓鹏,杜康,刘俊 《一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC2008年第06期 景鹏,马铁华,王燕 《高g值加速度传感器的动态建模与校正》PDF+DOC2014年第01期 许富景,祖静,尤文斌
  • 通过在不同测试环境对高量程加速度传感器进行测试,并对传感器在测试中出现的失效进行分析,在实验室环境测试中出现的主要失效模式为键合引线的脱落和微梁的断裂,其原因是不同金属的引线键合强度较低;重复性的冲击加速了材料的疲劳。在实弹测试环境测试中出现的传感器失效原因主要是在侵彻测试中传感器芯片与侵彻信号中高频分量发生共振导致过载增大,传感器芯片上的微结构位移失控,造成传感器结构断裂。

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