作者：杨玉华,石云波,张斌珍 单位：中北大学 出版：《中北大学学报(自然科学版)》2011年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGG2011030190 DOC编号：DOCHBGG2011030199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对现有MEMS高量程加速度传感器芯片结构设计了一种不锈钢管壳封装结构，通过有限元软件分析研究了灌封对高量程加速度传感器封装性能的影响.仿真结果表明，管壳结构在200 000 g的冲击载荷下，其所受到的最大应力为260.538 MPa，小于不锈钢的抗拉强度785 MPa，可以承受高达200 000 g的冲击载荷.灌封可以提高封装模型的固有频率，同时可减小MEMS敏感结构受到的应力；灌封胶的弹性模量会对传感器封装结构模型的性能产生较大影响，其固有频率会随着灌封胶弹性模量的增大而增大；而在相同载荷作用下，封装模型受到的应力会随之减小.但是灌封胶弹性模量太小，封装结构模型的模态频率反而会小于未灌封时结构模型频率，使封装结构在冲击环境下易发生共振现象。

    📙 相关资料

    1. 《灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究》PDF+DOC 针对恶劣环境下高频信号的干扰与由封装引起的结构失效，设计了一种MEMS高g加速度传感器，通过灌封实现机械滤波，保证封装的可靠性。根据传感器封装工艺，利用ANSYS软件建立有限元模型，仿真分析了灌封技术对传感器结构和性能。结果表明：灌封技术可提高传感器的高过载能力和输出灵敏度，灌封弹性模量相对较大、密......
    2. 《铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟》PDF+DOC 给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型，然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响，封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增......
    3. 《封装对高量程加速度计响应特性影响的分析》PDF+DOC 高量程加速度传感器应用在冲击、过载等复杂环境中时，高频谐波对传感器的响应特性有很大影响.为减少高频谐波对传感器响应特性的影响，通过优化封装提高传感器封装体固有频率，可使传感器在冲击、过载条件下稳定地输出.利用自研的尺寸为3 mm&#215；3 mm的高量程加速度传感器芯片，通过建立其封装等效......
    4. 《灌封对高量程微机械加速度计封装的影响》PDF+DOC 灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式高量程micro electro me chanicalsystem(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构 ，对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大。但弹......
    5. 《高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应》PDF+DOC 对双悬臂梁高量程MEMS加速度传感器的封装结构进行了1&#215；105g峰值的半正弦加速度冲击载荷下的有限元响应分析。灌封胶弹性模量的变化对加速度计的输出信号(输出电压、悬臂梁的挠度)的影响可以忽略。输出电压曲线的峰值与解析解接近。加速度计的悬臂梁表现为有阻尼下的受迫振动，并表现出悬臂梁的......
    6. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    7. 《集成现场标定功能的MEMS加速度传感器》PDF+DOC 针对传统机械振动台标定MEMS加速度传感器设备比较复杂且不方便现场标定的情况，设计了一种集成现场标定功能的加速度传感器.采用电磁驱动原理，用通电导线上产生的安培力模拟传统机械振动台惯性力.给出了加速度传感器结构，用有限元仿真软件ANSYS分析了传感器的运动模态和灵敏度，实现了弹性系数以及标定特性的验......
    8. 《数字式MEMS加速度传感器在车载导航中的应用》PDF+DOC 提出一种基于数字式MEMS加速度传感器ADXL202JE，设计了应用此传感器来判断车辆是否位于高架上的全数字式装置。分析了整个系统硬件的特点，结合实际测量结果，设计了相应的软件算法，并进一步论述了提高测量精度的方法，最后通过实际车载实验验证了设计的正确性。...
    9. 《MEMS传感器在车辆运动状态监测系统中的应用》PDF+DOC 针对智能车辆辅助驾驶系统对车辆运动状态监测的要求，提出了采用MEMS传感器对驾驶人员操纵车辆进行实时监测。该方法具有较好的实时性、智能性。为提高汽车行驶性和安全性提供重要的理论和实践依据。...
    10. 《一种无线传感器监测系统的设计和研究》PDF+DOC 给出了一种无线传感器监测系统的设计与开发，结合MEMS微传感器和无线通信技术，研究了MEMS微加速度计检测信号的测量与无线传输技术，设计了系统电路，并完成了原型装置的制作与调试。通过无线、有线传感器的时频响应特性比较表明，无线传感器监测系统能够满足桥梁健康监测的要求。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。