作者：杨鹏飞,彭春荣,张海岩,刘世国,夏善红 单位：中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版：《电子与信息学报》2011年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZYX2011110390 DOC编号：DOCDZYX2011110399 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC2015年第09期 李丹丹,梁庭,李赛男,姚宗,熊继军 《基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器》PDF+DOC2016年第02期 王宇,方东明,陈博,彭春荣,夏善红 《基于SOI结构的辐照传感器的辐照响应特性研究》PDF+DOC2019年第12期 孙静,郭旗,郑齐文,崔江维,何承发,刘海涛,刘许强,刘梦新 《多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器》PDF+DOC2005年第01期 龚超,邓凯,陶虎,白强,陈绍凤,夏善红 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《无引线封装的SOI压阻式压力传感器设计》PDF+DOC2017年第12期 李俊龙,朱平 《一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器》PDF+DOC2007年第08期 徐敬波,赵玉龙,蒋庄德,孙剑 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究(英文)》PDF+DOC2004年第04期 邓凯,夏善红,龚超,白强,陈绍凤 《传感器技术和市场发展趋势》PDF+DOC2008年第02期 卞正岗

    • 该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比，该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案，降低了传感器屏蔽电极的边缘效应；并基于有限元仿真，进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下，测试表明，测试量程0～50kV/m，传感器总不确定度优于2%，分辨率为50 V/m。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散，刻蚀，氧化，金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片，并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔，最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试，高温压力测试结果表明，在21℃(常温)至300℃的温度......
    2. 《基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器》PDF+DOC 提出并研制了一种二维电场检测传感芯片，将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm&#215；3.5 mm的敏感结构上，实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计，以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术。成功研制出传感器原......
    3. 《基于SOI结构的辐照传感器的辐照响应特性研究》PDF+DOC 绝缘体上硅埋氧层(Silicon-On-Insulator Buried Oxide，SOI BOX)P型金属氧化物半导体场效应晶体管(Positive channel Metal Oxide Semiconductor，PMOS)是用于新型高灵敏度辐射探测仪的一种关键器件。通过试验研究了SOI B......
    4. 《多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器》PDF+DOC 设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于 MEMS技术制作的微型电场传感器。该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状，在使用时可以将其中的两个用作驱动，另外两个作为振动检测电极，监控振动情况。传感器的支撑结构可以限制振动幅度，使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作。因此该电场传感器除了具备其它微......
    5. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
    6. 《无引线封装的SOI压阻式压力传感器设计》PDF+DOC 在SOI晶圆材料的基础上，设计了压力敏感结构，提高了传感器的高温稳定性；采用敏感芯片背孔引线技术，将硅敏感芯片的正面和硼玻璃进行气密性阳极键合，通过在硼玻璃对应位置加工电极连接孔，实现芯片电极与外部管脚的电气连接，形成无引线封装结构；利用ANSYS软件对敏感芯片进行了力学仿真，对高温敏感芯体进行了热......
    7. 《一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器》PDF+DOC 针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题，利用绝缘体上硅(SOI)材料，采用微型机械电子系统(MEMS)技术，研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器，其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应，温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。结合芯片中各传感器的工作......
    8. 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC 介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势；分析了单片集成MEMS技术实现的难点，同时，给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程；详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后，给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。...
    9. 《基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究(英文)》PDF+DOC 提出了一种基于微机械技术的微型电场传感器.该器件由振动部分和感应电极组成，通过静电梳齿结构驱动，并利用溅射到衬底的栅状金电极作为工作电极.基于SOI衬底加工的设计流程能够简化悬浮结构的制备.由于器件运动中受滑膜阻尼作用，因此可在大气下测试和封装，能够节约成本.阐述了器件的工作原理、结构仿真以及其键合......
    10. 《传感器技术和市场发展趋势》PDF+DOC 传感器的范围和传感器市场范围传感器经常作为自动化产品的一部分，以元件、器件、部件等形式出现在市场上，所以传感器的范围不是很明确。但由于它的功能独特且不可或缺，很受人们重视。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。