作者：包艳,杨德兴,李秉实,王东辉,郑普超 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2011年第08期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2011080230 DOC编号：DOCGXJM2011080239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素，给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先，根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用，介绍了传感器的工作原理；分析了工艺误差对传感器精度的影响，提出了柔性变栅距光栅精密成型为柱面变栅距光栅后内表面圆度应不大于0.01 mm。在圆度对传感器精度影响的量值基础上，采用了柱面变栅距光栅精密成型工艺。最后，利用有限元仿真分析了柱面变栅距光栅精密成型工艺的可行性。实验结果表明：柱面变栅距光栅内表面圆度达到0.004 3mm，传感器的线性度达到最大工作角度的0.27%，满足了航空机载传感器的精度要求。

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