《CMOS电容式湿度传感器特性研究》PDF+DOC
作者:刘岩,赵成龙,聂萌,秦明
单位:东南大学
出版:《电子器件》2011年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ2011040090
DOC编号:DOCDZQJ2011040099
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提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明,该电容式湿度传感器在相对湿度25%~95%的范围内具有较好的线性度;其回滞在75%RH时达到最大,为2%RH;该传感器响应时间较短;短期测试无明显漂移。
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