作者：李玉平,何常德,张娟婷,张慧,宋金龙,薛晨阳 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2015年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2015030290 DOC编号：DOCCGQJ2015030299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器(CMUT)的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试，发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致，且刻蚀的空腔高度均匀，键合效果良好，证明了工艺流程的可行性。此外，通过对所加工的传感器阵列进行测试发现，各阵元谐振频率和静态电容具有良好的一致性，说明以C-SOI工艺加工的CMUT器件满足设计要求，且适宜加工大阵列，这种加工技术使得加工成像阵列成为可能。

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