作者:马晓康,丛慧,穆仁,范会涛,杨卉,祈明锋,张小水,张彤 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2011年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2011120030 DOC编号:DOCCGJS2011120039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于“相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同”这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图。在此基础上,确定了In2O3纳米纤维的最佳工作温度,研究了最佳工作温度下In2O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性,验证了测温方法的有效性。该方法可进一步推广应用到其他微结构或者MEMS器件的表面温度的测量。

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