作者：唐梦,冯明,程新红 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2012年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2012050060 DOC编号：DOCBDTQ2012050069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由于谐振频率和谐振器质量呈线性关系，基于MEMS谐振器的等效机械和电路模型，可用于质量传感器应用。然而，动态模式下的MEMS谐振器具有容性传导特性，其两端口结构在电极之间会存在并联电容，扭曲其传输特性，增加整个系统的频率噪声。虽然通过改进工艺可以一定程度地降低并联电容，然而工艺的复杂度和成本会因此大大增加。针对这个问题，提出了纯电路的改进策略，使用可调电容或同等MEMS对两种方式来补偿并联电容的影响，从而降低频率噪声。实验测量结果显示补偿后频率噪声大大减少，分别从300和100 Hz降低到了100和1 Hz，大大满足了其应用精度要求。

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