作者： 单位：中国电子信息产业发展院 出版：《世界电子元器件》2012年第09期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDYQ2012090170 DOC编号：DOCSDYQ2012090179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • “高性能MEMS到底是什么?”。首先，回顾ADI MEMS是如何定义一些主要规格的。然后，简单看一下基于加速度计的倾斜检测及相关主要规格，接着通过余下的讨论介绍自主机器人示例。接下来将更具体地说明陀螺仪规格，同时细致分析各种误差源、表征技巧以及各种情况的考虑因素。接着将讨论惯性测量单元(IMU)，也就是各种传感器的组合，包括但不必

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