作者:张蕾,沙舟,林晶 单位:中国电子科学研究院 出版:《中国电子科学研究院学报》2012年第06期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFKJPL2012060030 DOC编号:DOCKJPL2012060039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 射频MEMS技术为实现微型化、集成化及智能化,以及探索具有新原理和新功能的器件与系统提供了重要途径。概述了射频MEMS的主要优势和在雷达领域的主要应用方向,在此基础上重点介绍了国外基于射频MEMS技术的T/R组件设计、X波段相控阵天线演示验证系统及针对Ka波段低成本无源相控阵的探索情况,并给出了新一代MEMS高集成度电子扫描阵列研究项目的最新进展。

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