作者：翟雷应,徐静,吴亚明,刘闯,雷洪波,陶大勇 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2012年第09期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ2012090030 DOC编号：DOCGDZJ2012090039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术，驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器，避免了拉伸光纤或改变折射率的困难，具有MEMS技术批量制造、低成本等优势。采用MEMS工艺成功制作出MEMS光纤相位调制器，并实现Michelson光纤干涉仪。利用ASE宽带光源对光纤相位调制器的静态调制特性进行测试，采用Michelson光纤干涉仪对光纤相位调制器的动态调制特性进行测试，结果表明，MEMS光纤相位调制器50V偏压实现了1 550nm光波的2π相位调制，当器件谐振频率为7.15kHz以及交、直流电压幅值分别为12.5V时，响应幅值可达6.8μm，可以实现多个2π的相位的正弦调制。

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