作者：高伟,陈晓怀,陈贺 单位：北京通信信息协会 出版：《现代显示》2012年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDYS2012120080 DOC编号：DOCXDYS2012120089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头，它由商用DVD读取头改装而成，已经完成设计与制作。实验结果表明，此非接触探头分辨率优于1nm，测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。

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