作者:吕志霞,李居峰,苗伟斌 单位:上海市机械工程学会 出版:《机械制造》2012年第11期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXZG2012110280 DOC编号:DOCJXZG2012110289 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了一种双工位电阻基板面平行度检测系统的检测原理和平行度算法。依据测量坐标值的原则检测形位误差,使用基于CCD检测器件的激光测距传感器获得空间坐标值,建立了基于最小二乘法拟合基准平面的数学模型计算面平行度。设计了一种面平行度计算的简化算法,用VB编程实现此算法,便于实现检测系统的自动化,提高检测的精度和效率。

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