作者:王云川,赵智忠 单位:中国真空学会 出版:《真空科学与技术学报》2012年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKKX2012100190 DOC编号:DOCZKKX2012100199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 传统的真空灭弧室真空度测量方法只在一定的真空度范围内测量精度较高,且易受外界干扰,为了获得准确的真空度数据,使用横磁场脉冲磁控法和改进的屏蔽罩电位法测量真空度,利用联合卡尔曼滤波器对测量数据进行融合。根据真空灭弧室的离线检测方式和真空度变化的规律确定了联合卡尔曼滤波的初始值和系数矩阵。实验证明这种方法具有良好的容错性,能够有效抑制外部噪声对测量系统的干扰,提高测量数据的稳定性和准确度。

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