《个人导航用压力传感器的三维打印制备数字模型》PDF+DOC

基于微喷三维打印机制造压力传感器，用于可穿戴的个人导航系统中。在基底表面不规则或者使用中经常被折弯的情况下，微喷打印工艺制备的MEMS器件精度更高，性能更好。研究了器件的可打印模型和工艺，给出压力传感器可打印的分层物理结构；研究了平面结构投影到三维基底上的投影空间，基于Terzopoulos弹性模型使用材料弹性度和结构弹性度模型给出投影空间；使用射线投影NURBS曲线来拟合边界轮廓，给出分层切片模型。为验证打印PZT膜的压电性能以及设计的压力传感器件的功能，使用不同的机械负荷测试其刚度，使用不同的直流偏置来测试耗损因数、品质因数等。通过比较实验对象的测量值和理论预测值之间的关系可以看出，打印的压力传感器薄膜具有很好的机械和电气性能。

提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。