《基于激光直写的微流光学触摸传感阵列》PDF+DOC
作者:李贤,袁余锋,李书,林巧,范宇强,吴兴坤
单位:中国光学学会
出版:《光学学报》2012年第03期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXXB2012030210
DOC编号:DOCGXXB2012030219
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设计并制作了一种基于激光直写技术的光学触摸传感器件。该器件采用光学微流结构实现对外加压力的连续比例测量。器件制作采用紫外激光直写技术配合高精度平移台实现,整体工艺过程在3min内完成。对所设计的传感器件的性能测试表明,光强信号随外力变化的曲线平滑,实测灵敏度为0.995mV/kPa。同时设计并制作了基于传感单元的阵列结构,不仅消除了光学累积误差,而且对集成化触摸传感的应用具有优势。
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