作者：叶珍华,杨海钢,尹韬,刘飞 单位：中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版：《电子与信息学报》2012年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZYX2012090370 DOC编号：DOCDZYX2012090379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 该文对开关电容式闭环微加速度计的系统稳定性进行了深入研究。提出了可通用于该类微传感系统的动态特性分析方法，并具体研究了传感器品质因子、力反馈延迟、电路补偿单元的参数多种因素对系统稳定性的影响。基于0.35 mm CMOS工艺实现了一款接口电路芯片实例，实验结果表明，充分的电路补偿设计对于保证系统稳定性十分关键，实际的系统稳定边界与理论分析结果也较为吻合，从而证明了理论分析方法的正确性。

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