《胶体刻蚀技术简介及其应用探索》PDF+DOC
作者:杨柏,池颖,李云峰
单位:科学技术部基础研究管理中心
出版:《中国基础科学》2012年第03期
页数:11页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZGJB2012030030
DOC编号:DOCZGJB2012030039
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近年来,具有特殊功能的微观图案化表面引起了人们浓厚的研究兴趣,并被广泛应用于微反应器、生物传感器、微电子器件、光学器件以及生物界面等领域。在众多微观图案化表面的构筑方法中,胶体刻蚀技术备受人们关注。本文对胶体刻蚀技术的进展及其应用进行了综述,并对其发展趋势进行了展望。
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