作者：王海燕,王伶俐,胡青飞,李新建 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012010030 DOC编号：DOCCGJS2012010039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过将硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)进行高温碳化处理，制备出一种SiC/Si-NPA复合纳米体系。对SiC/Si-NPA的表面形貌和结构表征揭示，生长于Si-NPA上的SiC薄膜由具有立方结构的SiC纳米颗粒组成，厚度为～200 nm。SiC/Si-NPA整体上保持了Si-NPA原有的柱状阵列结构特征。对浓度介于0～1 200&#215；10-6的H2S气体的室温传感性能测试表明，SiC/Si-NPA对H2S气体的电容响应灵敏度可高达790%，而其对400&#215；10-6浓度H2S气体的响应和恢复时间则分别为170 s和200 s，元件具有较好的测量重复性和稳定性。SiC/Si-NPA可能是一种室温条件下较为理想的H2S气体传感材料。

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