作者：蒙成,童筱钧,方颀,刘铎 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012030230 DOC编号：DOCCGQJ2012030239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对0.2%质量比LiCl薄膜涂层的QCM湿度传感单元湿敏特性进行了系统性的研究。研究结果表明：0.2%质量比LiCl—QCM的湿度传感单元的线性测量范围为13%～94%RH，克服了常规LiCl湿敏材料传感单元量程窄的缺点。另外，此湿度传感单元还具有重复性好、灵敏度高、湿滞小(小于10 Hz)、数字频率化输出等优点，因而，具有较好的潜在应用前景。

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