作者：李志全,王禄娜,李欣,张鑫 单位：中国光学学会 出版：《光谱学与光谱分析》2015年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGUAN2015020620 DOC编号：DOCGUAN2015020629 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 首次提出了一种基于U型波导耦合的新型单微环结构湿度传感器，该传感器以聚酰亚胺(polyimide，P1)作为感湿材料，当外界环境相对湿度变化时，引起感湿部位折射率的相应变化，导致传感器的输出光谱发生漂移。根据传输矩阵法推导U型波导耦合单微环结构的传递函数，重点讨论了不同感湿部位对输出光谱的影响，通过Matlab理论仿真，确定以U型波导耦合单微环结构整体作为最佳感湿部位。当U型波导的两个耦合点间的距离为微环周长的整数倍时，相比于传统的单微环结构，自由光谱范围(FSR)实现加倍。外界相对湿度从10%RH变化到100%RH时，传感器的输出光谱漂移量在0.027~0.191μm之间变化，灵敏度高达0.001 8μm/%RH，相比于具有高灵敏度的光纤光栅类湿度传感器，灵敏度提高了10~100倍，实现了在高灵敏度感湿的同时兼顾谐振峰两侧大范围的滤波选频。

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