作者：马成,徐磊 单位：中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所 出版：《光学仪器》2012年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXYQ2012010230 DOC编号：DOCGXYQ2012010239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了测量未知折射率或不透明薄膜的厚度，借助力传感器对传统迈克尔逊干涉仪加以改进，并运用等倾干涉的原理结合抵消法设计了测量装置。薄膜被等厚的空气层所代替，通过间接测量，避开了机械螺旋空程差造成的影响，使用力传感器有效减小了挤压形变引起的误差。该装置测量范围为0.3μm～1.5mm，分辨力为0.3μm。实测数据表明，该装置具有良好的重复性和准确性。

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