《一种新型的气体温控装置》PDF+DOC
作者:王明,聂宏飞
单位:中国制冷空调工业协会;中国科技交流中心
出版:《制冷与空调》2012年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZLDT2012040110
DOC编号:DOCZLDT2012040119
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介绍一种新型的气体温度控制装置,该装置融合了先进控制算法、加热冷却双作用微调技术、小型流体管路冷却技术、稳流技术、噪声控制技术等多项先进技术,能够为远距离被控对象输送变流量且温度精度为±;0.1℃的受控气体,是解决半导体、医疗器械行业中设备内部高温稳定性问题的关键,是产业链上的核心部件之一。
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