作者：李鹏,王晓倩,薛晨阳,闫树斌 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012030280 DOC编号：DOCCGQJ2012030289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种新型基于微环谐振腔的集成光学加速度计，该加速度传感器具有较高的灵敏度(56.6 mV/gn)和良好的抗冲击性能(可达105gn)。介绍并分析了该加速度计的传感理论，建立了微环谐振腔耦合单元模型，通过Matlab软件和时域差分有限元(FDTD)法绘制了波导的模态传输曲线，优化了微环谐振腔的设计参数和微腔与波导的耦合间距，并且利用ANSYS给出了悬臂梁的承受冲击极限。最终，仿真结果与理论分析结果基本一致。该加速度计可为高灵敏抗冲击微光机电系统(MOEMS)传感器提供新思路和理论参考。

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