作者：张霞,闫社平 单位：西安邮电大学 出版：《西安邮电大学学报》2012年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXAYD2012020140 DOC编号：DOCXAYD2012020149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以一种新型的梳状栅电容结构微机械加速度计为研究对象，对比分析机械热噪声和量子噪声对其检测精度的影响。研究结果表明，当微机械加速度传感器的结构尺寸接近纳米尺度时，在一定的温度条件下，量子噪声取代了机械热噪声成为影响加速度传感器自身噪声性能的主要因素，且量子噪声等效加速度大于机械热噪声等效加速度的温度临界点随着器件结构尺寸的减小而增大。

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