《基于彩色共焦的位移测量系统研究》PDF+DOC
作者：高鑫,邓文怡,牛春晖
单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司
出版：《光学技术》2012年第01期
页数：6页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGXJS2012010170
DOC编号：DOCGXJS2012010179
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为实现小型化、非接触式、快速高精度的位移测量，设计并搭建了基于光学彩色共焦原理的位移测量系统。系统中数据拟合采用的方法是，对光谱响应函数极值周围的数据进行高斯叠加拟合，以获得光谱响应曲线的峰值，从而得到峰值所对应的波长。经过实验验证，系统的测量范围为2mm，测量精度可以达到10μm，线性度为3.4%，光谱响应的半高宽(FWHM)为49nm。因此能够满足一定精度的位移测量需求。
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