《MEMS电容式压力传感器检测电路比较研究》PDF+DOC

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4. 《MEMS超薄动态压力传感器》PDF+DOC 针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求，研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器。采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对比分析，结合MEMS加工工艺，设计的传感器芯片采用线性好、灵敏度高、固有频率高的单岛膜结构。利用硅通孔(TSV......
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